在ESD靜電敏感環境中的機器安全防護
應用:為晶圓搬運機台提供安全防護
挑戰:產品需安裝在ESD靜電敏感區域
解決方案:ESD保護 EZ-SCREEN安全光幕
優點: 鍍鎳外殼可以有效對抗靜電放電
使用安全光幕來保護工作區域是安全防護設備和進出通道與產線高效能的替代方式。在保護半導體晶圓運送的過程,還必須特別注意解決靜電放電(ESD)問題。正確應用的安全元件方案可以保護員工,同時保護設備和半導體產品。
描述
在此應用中,機器操作人員需要進入晶圓搬運機台。EZ-SCREEN ESD安全光幕系統設定為使用光幕發射端、接收端和反射鏡來保護機械的三面區域,保護生產過程和操作人員。如果操作人員進入到危險區域,安全光幕允許人員更快速、更方便的移動,同時防止機器誤動作 。
此外,本應用方案要求降低靜電損壞產品的可能性或干擾自動化生產過程的安全設備。EZ-SCREEN ESD安全光幕具有特殊的鍍鎳外殼,以消除ESD靜電。EZ-SCREEN的ESD版本具有產品的標準系列版本的所有功能、設定方式其他特性。