Yarı İletken Wafer Algılama için Sunulan 3 Çözüm

7 Temmuz 2017 

Semiconductor wafer under microscope light with test probes

Yarı iletken Waferlar yarı saydam veya yansıtıcı özellikte olabilir ve iki durum için de bu cisimlerin sensörler tarafından algılaması zordur.      Bu nedenle, her iki tipteki Wafer'ı da kararlı bir şekilde algılayabilen bir teknolojinin kullanılması önemlidir.   Tüm bu zorluklara vakum odasında levhaları algılayacak sensörlerin montajı da eklenir.  

Neyse ki Banner Engineering, hem saydam hem de yansıtıcı özelliği olan Waferları vakum haznesi içerisinde kararlı bir şekilde algılama için kullanılabilecek çeşitli çözümler sunmaktadır. Bu makalede, uygulamaya çözüm için kullanılabilecek 3 teknoloji anlatılmaktadır. 

1. Pencere Camından Çift Modlu Lazer Mesafe Sensörü

Gofretleri tespit etmek için kullanılabilecek ilk sensör türü pencere camına monte edilmiş çift modlu lazer mesafe sensörüdür.  Banner Q4X gibi çift mod özelliğine sahip lazer sensörler sadece mesafedeki değişiklikleri değil, aynı zamanda sabit bir arka plan koşulundan ışık yoğunluğundaki değişiklikleri de algılar.      Bu da, Q4X'in saydam ve yansıtıcı özelliği olan Wafer gibi zorlu hedefleri kararlı bir şekilde algılamasını sağlar.  

Dual modlu bir lazer mesafe sensörü, hedefi yalnızca belirli bir mesafede bulunduğunda değil aynı zamanda alıcıya belirli bir miktarda ışık döndürdüğünde de algılayabilir.  Sensöre, çalışması için sabit bir referans yüzey öğretilmelidir. Öğretilen referans yüzeyin mesafe ve yoğunluğu kaydedilerek temel olarak kullanılır.

Algılama menziline giren saydam bir nesne, algılanan mesafeyi ve arka plan ortamından gelen ışık yoğunluğunu değiştirir.     Banner Q4X, cam bir pencere arkasından da sorunsuz bir şekilde algılama yapabilmektedir. 

2. Pencere Camından Fotoelektrik Sensör

Wafer gibi algılanması zor olan hedefleri doğru bir şekilde algılayabilecek bir başka sensör çeşidi de reflektörlü fotoelektrik sensördür.  Clear Object Detection özellikli QS18 tek bir dar eksen boyunca ışık yayar ve alır. Bu özellik, yansıyan ışığın yanlış algılanma riskini önemli ölçüde azaltarak yarı saydam Waferların algılanmasında optimizasyon sağlar.

Ek olarak yayılan ve alınan ışık, tek bir dar ışık demeti üzerinde hareket ettiği için sensörler küçük bir aralıktan görebilir ve vakum haznesi uygulamalarında kullanılmaya olanak sağlar. Polarize filtreli sensörler, diğer tüm ışık dalgalarını dikkate almadan belirli bir polarizasyondaki ışık dalgalarını algılar. Polarize filtre, yansıyan ışığın neden olduğu sahte algılama riskini daha da azaltır.

 Saydam nesneleri algılayan polarize koaksiyel optik sistemler hakkında daha fazla bilgi edinin. 

3. Vakum Odası Dereceli Elyaf

Son olarak, vakum hazne içerisinde kullanılmak üzere sınıflandırılmış bir fiber optik sensör de yarı saydam veya yansıtıcı özelliği olan Waferları algılamak için kullanılabilir.  

Fiber optik çözümde, fiber amfi vakum haznesinin dışına monte edilir.  içine monte edilmiş vakum dereceli cam elyaflı özel bir geçiş bağlantısı, fiber optik ışığı odaya getirir.

Vakuma dayanıklı bir reflektör yardımıyla, fiber kamçı ile reflektör arasından geçen cam ve parlak Waferlar algılanır. 

Daha Fazla Bilgi İçin

İlgili Ürünler

Q4X Serisi Dayanıklı Lazer Mesafe Ölçüm Sensörü
Q4X Serisi Dayanıklı Lazer Mesafe Ölçüm Sensörü

Q4X Serisi lazer mesafe ölçüm sensörü birçok zorlu uygulamaya çözüm sunar. FDA onaylı, IP69K koruma sınıfına sahip, paslanmaz çelik gövdeye sahiptir.

Devamını Oku
QS18 Serisi Fotoelektrik Sensör
QS18 Serisi Fotoelektrik Sensör

18 mm vidalı silindirik gövde tasarımına sahip genel amaçlı fotoelektrik sensörü yüzlerce farklı sensör tipinin yerine kullanabilirsiniz.

Devamını Oku
DF-G2 Serisi Yüksek Hızlı Fiber Optik Amfi
DF-G2 Serisi Yüksek Hızlı Fiber Optik Amfi

Parça sayımı veya işaret benekçiği algılama gibi uygulamalar için kullanılan, IO-Link özellikli ve yüksek hızlı (10 μs) fiber amfilerdir. Output: NPN veya PNP.

Devamını Oku

İlgili Makaleler

Araç Tespiti için Kızılötesi Fotoelektrik Sensörlerin Kullanılması
Araç Tespiti için Kızılötesi Fotoelektrik Sensörlerin Kullanılması

Bu makalede, araç algılama uygulamaları için kullanılan uzun menzilli, kızılötesi optik sensörler anlatılmaktadır.

Su Bazlı Sıvılar Nasıl Algılanır?
Su Bazlı Sıvı Algılama için Kızılötesi Fotoelektrik Sensörler Nasıl Kullanılır?

Banner'ın QS30 H2O Serisi fotoelektrik sensörünün, suyun varlığını veya yokluğunu kararlı bir şekilde algılamak için suyun optik özelliğini nasıl kullandığını öğrenin.

Fiber Optik Algılama Teknolojisi: Nedir ve Nasıl Çalışır?
Fiber Optik Algılama Teknolojisi: Nedir ve Nasıl Çalışır?

Bu makale fiber optiklerin ne olduğunu ve endüstriyel uygulamalarda nasıl çalıştığını açıklamaktadır. Önemli terimleri ve fiber optik sistemlerin ve montajların temellerini öğrenin.

Lüminesans Sensörleri: Sıkça Sorulan Sorulara Yanıtlar
Lüminesans Sensörleri: Sıkça Sorulan Sorulara Yanıtlar

Lüminesans sensörleri, hedefin görünür spektrumda parlamasına yol açmak için insan gözünün görmediği UV ışığını kullanır. Bu makalede, Lüminesans sensörleri hakkında sıkça sorulan soruların yanıtları sunulmaktadır.

Kütüphaneme Ekle
Eklendi