Detección de Cassette de Wafers Bajo Agua
Reto
Para detectar la presencia de un carrete de wafers en un transportador sumergido en el agua
Solución
Los wafers de silicio son transportados desde un proceso a otro en un carrete a través de un transportador totalmente sumergido en agua des-ionizada. Un sensor D1 tiene fibras en modo opuesto de teflón encapsuladas que se encuentran a cada lado de la cinta transportadora Cuando la carrete está presente, el haz opuesto se rompe.