ESD에 민감한 환경에서 기계 보호
응용 분야: 웨이퍼 캐리어 스테이션 보호
해결 과제: ESD 민감 영역
솔루션: ESD 안전 EZ-SCREEN 안전 라이트 커튼
이점: 니켈 도금 인클로저가 정전기 방전 소멸
안전 라이트 커튼을 사용하여 작업 셀을 보호하는 방법은 하드 가드 및 액세스 도어에 대한 효율적이고 효과적인 방법입니다. 반도체 웨이퍼 공정에서 보호 시 ESD(정전기 방전)와 관련된 문제를 해결하기 위해서는 특별한 주의를 기울여야 합니다. 적절한 안전 구성부품을 사용하면 작업자를 보호하고 동시에 장비 및 반도체 제품을 보호할 수 있습니다.
설명
이 응용 분야에서 기계 작업자는 웨이퍼 캐리어 스테이션에 접근해야 합니다. EZ-SCREEN ESD 안전 라이트 커튼 시스템은 이미터, 리시버 및 미러를 사용해 스테이션의 삼면을 둘러싸 공정과 작업자를 보호하도록 구성되어 있습니다. 안전 라이트 커튼은 물리적 배리어보다 빠르고 쉬운 접근을 허용하고 동시에 작업자가 위험 영역에 접근하면 기계가 움직이지 않도록 합니다.
또한, 이러한 응용 분야에는 제품에 손상을 입히거나 자동 공정에 간섭을 일으킬 수 있는 정전기 방전 가능성을 줄이는 안전 장치가 필요합니다. EZ-SCREEN ESD 안전 라이트 커튼은 니켈로 도금된 특수 인클로저를 채택해 ESD를 소멸시킵니다. EZ-SCREEN의 ESD 버전 역시 이 제품군의 표준 버전이 제공하는 모든 프로그래밍, 설정 및 기능을 제공합니다.