ESDの影響を受けやすい環境での機械の安全防護
用途:ウエハキャリアステーションの安全防護
課題:ESDの影響を受けやすいエリア
解決法:ESDセーフEZ-SCREENセーフティライトカーテン
メリット:静電放電を防止するニッケルめっきエンクロージャ
ワークセルの安全防護では、ハードガードと出入口の扉を用いる代わりにセーフティライトカーテンを使用することで効果的で効率の良い防護を行えます。半導体ウェハ工程の安全防護の場合には、静電放電 (ESD) に関連した問題に対処するために特別な配慮が必要になります。適切な安全コンポーネントを使うことで、作業員を防護しながら設備や半導体製品を守ることができます。
説明
このような用途では、機械オペレータはウエハキャリアステーションにアクセスする必要があります。EZ-SCREEN ESDセーフティライトカーテンシステムの投光器、受光器、ミラーを使ってステーションの3つの面を囲むように設定して、工程およびオペレータを安全防護します。物理的な柵よりセーフティライトカーテンの方が簡単にすぐにアクセスすることができる一方で、オペレータが危険ゾーンに入ったときには機械動作を止める働きをします。
さらに、この用途では特別な安全設備を使用して、製品を損傷したり自動化プロセスを妨げるおそれがある静電放電の発生を抑えます。EZ-SCREEN ESDセーフティライトカーテンには、ESDを防止するための特別なニッケルめっきエンクロージャがあります。このESD仕様のEZ-SCREENにも、この製品群の標準仕様と同じプログラミングやセットアップ、機能があります。