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    • 3 solutions pour la détection de la présence de plaquettes de semi-conducteurs

    July 7, 2017 

    Semiconductor wafer under microscope light with test probes

    Les plaquettes de semi-conducteurs peuvent être transparentes ou réfléchissantes, ce qui pose des problèmes de détection aux capteurs.   C'est pourquoi il est important d'utiliser une technologie capable de détecter les deux types de plaquettes de manière fiable.  Le montage du capteur peut également constituer un défi lors de la détection de plaquettes dans une chambre à vide.  

    Heureusement, Banner Engineering propose plusieurs solutions qui peuvent être utilisées pour détecter de manière fiable les plaquettes claires et réfléchissantes dans une chambre à vide. Cet article décrit 3 technologies qui peuvent être utilisées pour résoudre cette application. 

    1. Détecteur de distance à laser bimode à travers une vitre

    Le premier type de capteur qui peut être utilisé pour détecter les plaquettes est un capteur de distance laser bimode monté à travers la vitre d'une fenêtre.  Les capteurs laser à double mode comme le Q4X de Banner détectent non seulement les changements de distance mais aussi les changements d'intensité lumineuse à partir d'un arrière-plan stable.   Cela permet au Q4X de détecter avec une grande précision des cibles difficiles telles que des plaquettes transparentes et réfléchissantes.  

    Un détecteur de distance laser à double mode peut détecter non seulement la présence de la cible à une certaine distance, mais aussi le retour d'une certaine quantité de lumière vers le récepteur.  Pour que la détection fonctionne correctement, il faut apprendre au capteur une surface de référence stable. La distance et l'intensité de la surface de référence sont enregistrées et utilisées comme références.

    La présence d'une plaquette transparente ou réfléchissante dans la zone de détection du faisceau modifie la distance perçue et l'intensité lumineuse par rapport à l'arrière-plan.   Le Q4X de Banner est également capable de détecter à travers une fenêtre en verre sans interférence. 

    2. Capteur photoélectrique à travers une vitre

    Un autre capteur qui détecte avec précision les cibles difficiles des wafers est un capteur photoélectrique rétro-réfléchissant avec une conception optique coaxiale.  Le QS18 avec Clear Object Detection émet et reçoit de la lumière le long d'un seul axe étroit. Cela permet d'optimiser la détection des plaquettes transparentes en réduisant considérablement le risque de fausse détection due à la lumière réfléchie.

    En outre, comme la lumière émise et reçue se déplace sur un seul faisceau étroit, ces capteurs peuvent voir à travers une petite ouverture, ce qui permet de les utiliser à travers une fenêtre en verre pour des applications dans des chambres à vide. Les capteurs photoélectriques équipés de filtres polarisants émettent et détectent des ondes lumineuses correspondant à une polarisation spécifique et ignorent les autres ondes lumineuses. Cela réduit d'autant plus le risque de détection erronée causée par la lumière réfléchie.

     Découvrez d'autres informations utiles sur l'optique coaxiale polarisée pour la détection des objets transparents. 

    3. Fibres testées en chambre à vide

    Enfin, une solution de fibre optique conçue pour être utilisée dans une chambre à vide peut également être utilisée pour détecter des plaquettes transparentes ou réfléchissantes.  

    Dans le cas d'une solution à fibre optique, l'amplificateur à fibre est monté à l'extérieur de la chambre à vide.  Un raccord spécial avec une fibre de verre sous vide montée à l'intérieur de apporte la lumière de la fibre optique dans la chambre.

    La fibre est positionnée de manière à ce que la lumière brille en direction d'un réflecteur en verre sous vide, détectant à la fois le verre et les plaquettes réfléchissantes qui passent entre la fibre et le réflecteur. 

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    Capteur photoélectrique à usage général de la série QS18
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